進(jìn)口真空泵,旋片式真空泵等真空泵維修的技術(shù)我們前面也介紹過很多，這里我們重點介紹真空鍍膜設(shè)備的檢修技術(shù)。真空鍍膜設(shè)備故障的判斷是進(jìn)口真空泵,旋片式真空泵,真空泵維修,機械真空泵維修中的重要環(huán)節(jié)。一個實踐經(jīng)驗豐富的檢修者,常?？梢栽诙虝r間內(nèi)找出復(fù)雜設(shè)備的故障所在,因而收到事半功倍的效果。要做到這點,真空泵維修人員除要掌握必要的真空知識外,還要熟悉各種設(shè)備的結(jié)構(gòu)、特點,工作中還要勤于思考,善于總結(jié)才行。
真空泵出了故障從何下手,就我們的經(jīng)驗總結(jié)為三句話`先低后高、先動后靜、先易后難”。即先從低真空查到高真空,先查經(jīng)常轉(zhuǎn)動的部件,后查不常動的部件,先檢容易的查,后檢難的查。遵循此原則,在檢修中就能收到快、好、省的效果。
真空泵故障的判斷與排除
1.大漏
機械真空泵開啟后,長時間仍有排大氣砰!砰!的響聲,并伴隨有大量的油霧,說明設(shè)備有大漏。這種故障,我們設(shè)備上的經(jīng)驗是常由于機械真空泵缺油和電磁閥漏氣引起。判斷電磁閥故障可用手指模一下電磁閥放氣嘴吸不吸手,發(fā)現(xiàn)吸手,說明電磁閥沒吸合,或放氣口沒堵嚴(yán),檢查保險絲和二極,管無問題時旋下放氣嘴,檢查“O”形圈與壁接觸是否太松,松時可以涂點耐溫的7501硅脂。
一些老式蒸發(fā)臺主閥的開閉是用橡皮碗的伸縮來動作,時間長了,橡皮老化,會有裂紋。因為在臺面下檢查困難,停泵又聽不到進(jìn)氣聲,可用火焰探測法試。方法在玻璃棒上綁一棉球,蘸點酒精、點上火靠近疑點。如有大漏?；鹈缥M(jìn)。對有些間隙可以用停泵聽氣流來判斷,如鐘罩沒壓好,轉(zhuǎn)動桿太松,真空規(guī)管芯柱炸了等。
2.低真空抽不上
指機械真空泵只能抽到10帕,熱偶計指針指在20分格再也上不去。盡管目前擴散泵的性能有了很大改進(jìn),前置*大反壓強可以達(dá)到40帕。如果上述大小的漏孔正好處在機械真空泵與擴散泵排氣口之間,擴散泵雖然還能工作,但畢竟不太可靠,而且油也易氧化裂解。如漏孔不在上述部位,高真空就上不去,所以還要深入查找原因。
a.檢查鐘罩與可動電極
先查鐘罩放好沒有,是否壓在原位,橡皮密封處有無臟物,鐘罩觀察窗有無炸裂。若低真空上不去是發(fā)生在更換密封橡皮后,此時就要檢查橡皮圈入槽后是否服貼,有無凸凹部位,接著檢查電極是否上下串動,進(jìn)一步判斷可把上下兩個旁通閥關(guān)閉,看前置真空能否抽上。抽上了說明前置沒有問題。上不去估計是下面原因。
b.上、下旁通閥桿軸密封不好
為了使管路緊湊,增大流異,新設(shè)計的鍍膜機都配置蝶閥。要得到好的真空度,蝶閥在安裝時,將閥的軸封置于前置真空,即閥門關(guān)閉時,閥的軸封處于低真空端。判斷軸封密封好壞只要來l可擰動閥門手柄,觀察熱偶真空計指針是否有變化即可(注意擰動手柄時不要把閥門關(guān)死。當(dāng)擰動上旁通閥時指針有變化,說明問題就出在此閥上。主閥的閥桿軸的密封好壞也可用這種方法檢查。確定了某閥軸封漏氣后,只要用搬手把壓緊螺母旋緊即可。若不行就要拆下,更換新的密封圈。
c.閥門都好,真空度還上不去,就要仔細(xì)觀察真空設(shè)備其它有無毛病。比如玻璃有無炸裂(特別要注意芯柱處),熱偶計引線接觸是否良好,確認(rèn)都無問題時,在機械真空泵本身原因,*好是把機械真空泵從設(shè)備上拉出來,單獨用真空橡皮管和熱偶計測量機械真空泵的極限真空,通常機械真空泵單抽都能達(dá)到1帕左右,達(dá)不到此值機械真空泵就有毛病。常見的是油臟,排除方法是把油放盡。打開機械真空泵上蓋,用紗布蘸去臟油,必要時用綢布蘸少許汽油擦干凈,用電吹風(fēng)機吹干,灌進(jìn)一點新油,開機械真空泵幾分鐘,把油放掉,這樣反復(fù)兩次即可。與此同時,可以旋下進(jìn)氣管觀察橡皮密封圈及出氣口處橡皮壓塊是否有損壞,通常它們也是造成低真空上不去的原因。
d.拆洗機械真空泵
機械真空泵非到萬不得已時才拆,如鐵屑、砂子、碎玻璃等落入泵中或長期不用而銹蝕,泵太臟或卡死就要拆泵。先打開兩面端蓋,取出轉(zhuǎn)子及滑片,用廢汽油先洗一下,觀察哪里有傷痕或被咬啃的標(biāo)記,用細(xì)油石或400號金相砂紙磨去凸起的金屬或毛刺。如果端蓋被轉(zhuǎn)子磨出明顯的傷痕和溝槽,可上平面磨床磨平,消除毛病后用汽油洗凈、烘干。裝配時在滑片、轉(zhuǎn)子、定子間涂一些新的機械真空泵油。緊固端蓋的螺絲很有講究。要達(dá)到手轉(zhuǎn)動皮帶輪時不太松,又不太緊,運轉(zhuǎn)自如,用手掌壓在進(jìn)氣口處,有大的吸勁表明裝配正確。注入規(guī)定的油量就可試抽。
3.高真空抽不上
一般的真空蒸發(fā)設(shè)備,在正常狀態(tài)下能達(dá)到3×10-3帕。時間抽長點,鐘翠內(nèi)部等支架比較干凈時,能抽到7×10-4帕左右。如果系統(tǒng)長時間進(jìn)入不了10-3帕,說明高真空部分有毛病。生產(chǎn)上遇到的原因有以下幾種:
a.上旁通閥門密封圈松或損壞
蒸發(fā)設(shè)備幾個閥門中,此閥的故障率是*多的。這不是因為它的開閉次數(shù)。主要原因是抽大氣時,大量氣體先經(jīng)過它,故鐘罩中蒸發(fā)時殘留下的微粒,如金屬、介質(zhì)皮屑常被氣流吸卷著穿過此閥.其中一部分會粘到蝶閥的橡皮密封面處(通常裝閥時在密封面處涂上一層真空脂,故更易粘附)造成閥門關(guān)閉不嚴(yán)。從而使高壓強一端(低真空管路中)的氣流通過此閥漏入高真空區(qū),造成高真空抽不上。判斷此閥故障比較簡單,轉(zhuǎn)動閥門手柄。如閥門關(guān)不到原位或到位很松(正常狀態(tài)時閥門快關(guān)到位時有鎖緊的手感),估計毛病在此。進(jìn)一步證實,可以用鐘罩放氣來驗證,方法是把主閥和上下旁通閥都關(guān)閉,鐘罩放大氣,機械真空泵如有抽大氣的響聲即可證明。
修復(fù)的方法是拆下閥門,發(fā)現(xiàn)壞損的密封圈就要更換。如沒損壞只是碎屑粘上,可用綢布蘸上酒精擦掉。對松的密封圈可在閥蓋和閥桿中間墊金屬片(約0.2毫米~0.6毫米),具體墊多厚為宜,全憑搬動手柄人手的感覺,松緊要適中。
b.擴散泵中的問題

通常機械真空泵抽到1。帕,加熱擴散泵一小時左右,真空度就能進(jìn)入4×10-3帕。若長期停在10-2帕,說明擴散泵以上部位有問題。是擴散泵本身問題,還是鐘罩上部的問題,可以關(guān)閉主閥判斷。方法是關(guān)閉主閥,記錄壓強隨時間的變化數(shù)值,劃出曲線。類似圖1所示曲線,a為關(guān)閉主閥時的壓強,如劃出的曲線象a、b、c那樣就可以判定系統(tǒng)有漏氣,問題出在主閥門上端。劃出曲線與abc相似,表明真空度上不去是擴散泵的問題。

在高真空部位存有10帕~10-2帕·升/秒的漏孔就會使高真空上不去。這就要仔細(xì)查找。先用火花探漏儀檢查電離計熱偶計封接處有無漏孔,或玻璃炸裂。對有些玻璃裂紋,火花探漏儀是查不出的,要用肉眼仔細(xì)觀察,也可用棉花蘸酒精涂在可疑處,若有漏孔真空度下降。對鐘罩下方一組電極若有懷疑?？捎米⑸溽樄芪暇凭牲c噴射,小漏孔會因酒精暫時封往漏孔而使真空度上升,大漏孔會因酒精進(jìn)入而使真空度下降。此法能幫助我們找到許多不易覺察到的漏孔。

EBARA A10S真空泵維修：http://www.shortstackjack.com/enstyle/product_12291249.html

里其樂 托馬斯 VTE8真空泵維修：http://www.shortstackjack.com/enstyle/product_12341401.html

愛德華IQDP80-QMB1200真空泵維修：http://www.shortstackjack.com/enstyle/product_12354029.html