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Edwards真空泵維修檢測方案


確定極限真空度

  在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度,因為系統(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的*佳工作真空度。一般來講,系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%,比前級泵的極限真空度低50%。 

被抽氣體種類與抽氣量

  檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng),泵系統(tǒng)將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產(chǎn)生的氣體量。 

真空容積

  檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏。
考慮達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。  

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